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硅片清洗,教你如何清洗硅片是最干净,最省时的:

来源:志英生活网

硅片是现代半导体制造中不可或缺的材料,硅片表面沾染的各种杂质、残渣会影响到其制造、使用效果及寿命。因此,硅片清洗是非常重要的一个过程。

硅片清洗的方法很多,常用的包括机械清洗、化学清洗等。其中,机械清洗虽然简单,但由于硅片表面容易受到机械损伤,且不适用于精细加工的硅片;而化学清洗有着高效快捷、处理温度低、能够保证充分清洗等优点。

下面,我们分享一种清洗硅片的方法,你可以尝试一下:

  • Step 1:将硅片放入去离子水中清洗1min。
  • Step 2:加入压缩空气,并利用离心力将硅片离心干燥。
  • Step 3:用1HNO3:8HF溶液清洗硅片10min。
  • Step 4:用去离子水清洗硅片5min。
  • Step 5:将硅片放入烘箱中,在120℃上烘5min。

完成以上步骤后,你会发现硅片表面干净明亮,而且清洗过程极为简单便捷。

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